硅片表面的清潔度測(cè)試通常是指半導(dǎo)體工業(yè)中使用的硅晶圓表面的清潔度測(cè)試。硅晶圓是制作半導(dǎo)體器件的基礎(chǔ)材料，其表面的潔凈度對(duì)器件性能和可靠性有著非常重要的影響。硅片表面清潔度測(cè)試的標(biāo)準(zhǔn)通常是根據(jù)制造商的要求和半導(dǎo)體行業(yè)的標(biāo)準(zhǔn)來制定的。

硅片表面清潔度測(cè)試的原理通?；诒砻鎻埩Φ臏y(cè)量。由于表面張力與表面上的雜質(zhì)有關(guān)，因此可以通過測(cè)量表面張力來評(píng)估表面的清潔度。常見的測(cè)試方法包括接觸角法和表面張力測(cè)量?jī)x法。

接觸角法通過測(cè)量液體在硅片表面形成的接觸角大小來評(píng)估表面的清潔度。如果表面潔凈，則液體將均勻地分布在表面上，接觸角將非常?。蝗绻砻娲嬖谖廴疚?，則液體在表面上形成的接觸角將變大。

表面張力測(cè)量?jī)x法使用一種特殊的設(shè)備來測(cè)量液滴在硅片表面上形成的表面張力。液滴在表面上的張力大小與表面潔凈度成正比。通過測(cè)量液滴的表面張力大小來評(píng)估表面的清潔度。